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核工业西南物理研究院-离子束刻蚀石英玻璃表面实验研究采购采购公告

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信息时间:
2021-11-29
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核工业西南物理研究院-离子束刻蚀石英玻璃表面实验研究采购-询价采购公告
一、项目概况
1.项目名称:核工业西南物理研究院-离子束刻蚀石英玻璃表面实验研究采购
2.项目编号:585s-fw-gkxj-21-0596
3.交货/服务时间:******
4.交货/服务地点:四川省成都市双流区西航港大道中四段219号
5.供货范围:
(1)主要内容:
1)采用平行束射频离子源开展氩离子束不同离子能量、不同束流强度、不同离子束角度(样品法线与离子束之间的夹角)、束流均匀性及刻蚀时间等工艺参数对石英玻璃进行离子束刻蚀实验,研究其对刻蚀速率、表面粗糙度、面型、材料表面结构、损伤阈值的影响规律;
2)离子束角度及能量加工工艺参数对离子束溅射物沉积分布的影响;
3)样品的结构与物性表征
采用光学显微镜、原子力显微镜、轮廓仪、干涉仪及激光器等对离子束刻蚀前后的石英玻璃表面进行表面成分、粗糙度、面形、微观结构、光学性能及抗激光损伤阈值表征与分析,并开展上述研究,最终得出该项目所要求的技术指标。
(2)乙方需交付的清单:
1)《离子束刻蚀工艺参数对石英玻璃刻蚀速率、表面粗糙度、面型、材料表面结构、损伤阈值影响报告》;
2)《离子束加工工艺参数对离子束溅射物沉积分布影响报告》;
3)提交相关检测报告,并需经签字或盖章;
4)提交相关实验样品。
(3)乙方需要准备试验过程中的所有样品及材料;
(4)本次技术服务中出现的研究成果、知识产权归甲乙双方所有,未经双方许可,任何一方不得私自发表专利、论文或者申报其他科技类奖项。申请专利或报奖第一顺序人须为核工业西南物理研究院。
6.质量要求:
1)最大束流强度条件下刻蚀速率≥60nm/min。
2)经离子束加工后,石英光学元件的表面粗糙度rms<1nm。
3)石英光学元件经离子束加工后损伤阈值提升到原来的1.5倍以上。
二、供应商资格要求:
1、基本资格条件:
供货商须具备以下资质和业绩条件,并具备承担本次采购任务的相应能力。
(1)资质要求:
投标人必须为拟具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织,具备有效的营业执照(或事业法人登记证等相关证明)以及履行合同所必需的设备和专业技术能力。
(2)财务要求:无。
(3)信誉要求:
1)投标人或其法定代表人(单位负责人)近三年无行贿犯罪记录,提供“中国裁判文书网”查询结果。
2)投标人及其法定代******法院在“中国执行信息公开网”列入失信被执行人名单,提供查询结果。
******商行政管理机关在国家企业信用信息公示系统中列入“严重违法失信企业名单”,提供“国家企业信用信息公示系统”查询结果。
4)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
2、专项资格条件:
三、报名方式
本项目采取公开方式选择供应商,有意参与本项目的潜在******集团电子采购平台(******/)在2021年12月02日16时00分前报名参加本项目。
四、采购文件的获取
1、采购文件获取地地址:本项目不再提供纸质采购文件,参与本项目的潜在供应商******集团电子采购平台下载采购文件。
2、有意参与本项目的潜在******集团电子采购平台进行注册。注册账号审核通过后,在首页“用户登录”,输入账号及密码登录系统,依次点击→系统功能菜单→项目管理→我要报名,找到《核工业西南物理研究院-离子束刻蚀石英玻璃表面实验研究采购》,点击“我要报名”,即可查看项目信息并报名参与项目。报名经我公司审核通过后即可下载本项目采购文件。
五、应答文件/报价文件的递交
1、应答文件递交截止时间:本项目采用在线评议,请参与本项目的应答人在(北京时间)2021年12月02******集团电子采购平台(******/)登录并上传应答文件电子版。若采购方另有要求递交纸质应答文件的,请按采购方要求的时间及方式递交:。
2、提交应答文件的方式:在线上传应答文件。(若采购方另有要求递交纸质应答文件的,请按采购方要求递交,并以在线上传文件为准)
3、未在线报名、逾期上传/送达的、未上传的,采购人不予受理。
六、公告媒体
******集团电子采购平台(******/)发布。对于其他媒介发布的本项目公告,采购人对其准确性不承担任何责任。本次采购活动的最终解释权在核工业西南物理研究院。
七、联系方式
采购人:核工业西南物理研究院
地址:四川省成都市双流区西航港大道中四段219号
邮编:
采购联系人:王新超电话:028-******
技术联系人:聂军伟电话:******
传真:
电子邮件:
核工业西南物理研究院
2021年11月29日
查看项目详细信息

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