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项目名称： 电子束蒸发薄膜沉积系统 项目编号： 清采比选******号
公告开始日期： 2025-01-08 13:50:56 公告截止日期： 2025-01-13 14:00:00
签约时间要求： 成交后10个工作日内 交货时间要求： 签订合同后20个工作日内
采购单位：******大学
国内合同付款方式： 合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%
收货地址：******大学
采购清单采购商品： 电子束蒸发薄膜沉积系统 采购数量： 1 计量单位： 台
技术参数及配置要求： 1、设备适用于6英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积，6英寸样品不均匀性≤±4%；2、设备用于蒸镀金属及氧化物半导体薄膜，纳米级单层及多层功能薄膜；3、设备极限真空度优于5.0×10-5Pa，真空漏率≤10-7Pa.l/s，真空室从大气到抽到≤5.0×10-4Pa，小于30min；4、 样品台加热或水冷结构兼容二选一，加热样品台控温精度±1℃，配置水冷样品台可升降可旋转；5、电子枪功率0-8KW可调；带预熔功能
质保期： 12个月
