首页
点击加入供采通，创建供应商名片
项目名称： 原子层沉积 项目编号： WSJJ******
公告开始日期： 2025-01-02 14:50:46 公告截止日期： 2025-01-05 16:00:00
采购单位：******大学 付款方式： 国产-甲方预付货款的20%，待货到甲方验收合格，乙方出具全额正规发票后，甲方一次性支付剩余货款。
签约时间要求： 校方合同审核完成后3天内 到货时间要求： 签订之日起3个工作日内
预算总价： ￥460000.00
收货地址：******大学(长安校区)
采购清单采购商品： 原子层沉积系统 采购数量： 1 计量单位： 台 所属分类： 控制设备
品牌： 科纳迪
型号： ALD-T100B
预算单价： ￥460000.00
技术参数及配置要求： （1）4英寸硅片上沉积300cycle氧化铝非均匀性<±1%；（2）最高300℃沉积温度，温度控制精度±0.5℃；（3）高精度膜厚控制(0.1 nm/cycle，精度±0.5 A)；（4）真空系统极限≤1 Pa，系统漏率≤6*10-10Pa.m3/s；（5）4 路源：3路加热金属前驱体源和1路水源，配备专用ALD 阀门、手动隔膜阀以及前驱体源源瓶；（6）操作简单，具备Windows兼容的自动控制软件。
售后服务： 电话支持:7x24小时;质保期:1年;响应时间:报修后12小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品、 送货上门/安装调试/技术培训;
