******学院
二、项目名称:微纳米精密运动平台
三、公开信息:
1.设备名称:微纳米精密运动平台
2.数量:1
3.关键技术指标:运动行程:X×Y:500mm×600mm,定位精度: ±5μm@ 3sigma,重复定位精度:±1μm 3sigma,重复定位精度:光栅尺分辨率 0.5μm,响应时间:<0.2ms,速度: 3M/S MAX,加速度:5G MAX
4.预算金额:185,400.00元
******有限公司
6.拟成交价格:185,400.00元
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2024年11月26日